半導体用金コーティング赤外線ランプ
安全を確保するために：化学洗浄における金メッキ処理済みのIRランプ 正直に言って、半導体製造施設で可燃性化学物質が入ったタンクの上にIRランプを直接設置するのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や、石英管の故障でも、大惨事につながりかねません。これは非常にリスクの高い環境です。
だからこそ、...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために（加熱しながらも）
クラス100の環境で作業を行うときは、ほんのわずかなほこりでさえ許されません。わずかなほこりやヒーターから出るガスだけで、ウェーハや光学部品は台無しになってしまいます。これは本当に悪夢のようです。
そのため、私たちは高純...
認定済み赤外線硬化ランプ製造業者
熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか
ウェーハ製造の現場では、物理学上の課題と常に戦っている必要があります。基板上には熱が必要ですが、他の部品にエネルギーが漏れてしまっては困ります。これは本当にもったいないことです。だからこそ、私たちは金コーティングされた反射器...
洗浄用の防水型赤外線ランプ
ウェーハの乾燥におけるボトルネックを解消する：赤外線と熱風の比較
半導体製造現場で働いたことがある人なら、洗浄工程が通常、作業の遅れの原因になることを知っているでしょう。ウェーハを乾燥させるのは本当に大変な作業です。
依然として多くの工場では熱風を利用しています。しかし問題は、わずかな水分を取り除...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
ランプの破損によるウェーハの損傷を防ごう 高負荷な半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる迷惑事以上の問題です。それはまさに悪夢です。
シリコンウェーハの真上で石英管が破裂するとどうなるでしょうか？ランプが壊れるだけでなく、ガラスの破片や金属の破片が製品に降り注ぎます。一度破裂すれば、そ...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
熱の無駄遣いを止めよう：半導体ウエハを効率的に加熱する方法
カーボンニュートラルな工場を運営しようとする場合、装置周辺の空気を加熱することは明らかに無駄な行為です。部屋全体が高温になるのは望ましくありません。重要なのは、基板上の部分だけを適切に加熱することです。
そこで役立つのが、金コーティングさ...
バイオセンサーの製造における赤外線ランプ
IR加熱と熱風：バイオセンサーを開発するためのより良い方法 バイオセンサーを製造する際、硬化や乾燥といった工程は、多くの場合、非常に面倒な作業です。古い方式では依然として熱風を使っています。確かに機能はしますが、速度が遅すぎます。本当に遅いのです。
熱風を待つという問題点 対流式オーブンの仕組みを...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
ファブ内の加熱システムを最適化するには ウェーハ処理やCVDプロセスを行っている場合、加熱ランプがそのプロセスの核心であることはご存知でしょう。しかし、現代のファブでは、「単純な」加熱素子では不十分です。実際にデジタル制御装置と連携して動作する加熱源が必要です。リアルタイムで温度分布を把握し、推測...
炭素繊維赤外線ランプ工場
はじめに 私たちがこの炭素繊維製の赤外線ランプを開発した理由は、単純です。つまり、熱を必要な場所、つまりウェーハ上に集中させ、周囲の空気に無駄に散逸させないようにするためです。つまり、1ワットの電力も無駄なく有効に活用するのです。
そうすることで、すべてが変わります。温度制御がより精密になり、不要...
制御雰囲気焼成ランプ
リソグラフィーの工程において、ベイク処理は単なる一時停止ではなく、プロセス上の重要な段階です。もしソフトベイクの温度が不安定になると、線幅の制御に影響が出ます。また、ハードベイクが均一でない場合、スカムや不純物が発生します。熱的な条件が厳しい場合、ベイク用ランプは日々、ウェーハ全体にわたって微小な...
フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ
リソグラフィーの工程では、わかっての通り、わずか半度の温度変動だけでも線幅に影響を与えてしまいます。一方、過度に高温での焼成は、抵抗層を硬くしてしまい、現像剤の作用を妨げることになります。その結果、意図しない形状の欠陥が生じてしまいます。
また、それらの赤外線ランプは単なるヒーターではありません。...
モリブデン支持型赤外線ランプ
ファブの現場では、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動が起きると、何週間もかけて行ってきた品質向上の努力が水の泡になってしまいます。リソグラフィーにおける温度変動も同様です。ウェーハの乾燥過程での不均一性も問題です。加熱素子は、機械の処理プロセスに合わせて動作しなければなりません。
重...
急速熱処理 RTP ランプ
Fabフロアでは、状況はよく分かっているはずです。ソフトベイクで半度のずれが生じると、フォトレジストのプロファイルが変化し、その変化がクリティカルディメンションに影響を与えます。熱的バジェットは厳密に管理されており、ミスの余地はありません。
必須ポイント
当社は高純度クォーツを通した短波長ハロゲン...
ウエハ上のチップ赤外線ランプ
ファブフロアの現実 フォトレジストのベークはオプションではなく、仕様です。ソフトベークまたはハードベークで1°Cのずれが生じると、CD制御がずれます。一つの粒子の逸脱で、全ロットを廃棄することになります。我々は、先進的な半導体装置が要求する熱特性に合わせて、チップオンウェハ赤外線ランプを設計し、そ...
オゾンフリー赤外線ランプ
ライン上では300 mmウェーハがベークを待っている。ソフトベークの温度が0.3°Cずれるだけで、CDシフト、オーバーレイスキューが発生し、バッチ全体がリワーク行きとなる。オーブンの設定温度は安定しているように見えても、キャリア上のセンサーは異なる状況を示す—ホットスポット、冷えたエッジ、膜の硬化...