クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために（加熱しながらも）
クラス100の環境で作業を行うときは、ほんのわずかなほこりでさえ許されません。わずかなほこりやヒーターから出るガスだけで、ウェーハや光学部品は台無しになってしまいます。これは本当に悪夢のようです。
そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。これらは、「ほぼ清潔」というレベルでは不十分な、ベンチ上での作業に特化して設計されているのです。
石英が重要な理由
私たちは、OH⁻含有量が高い溶融シリカ製の石英を使用しています。簡単に言えば、この素材は高温になっても分解したり、微細な粒子を放出したりしません。
また、この赤外線ランプは放射によって熱を伝えるため、強制送風によってほこりがワークピースに飛び散る心配もありません。ファンもなく、風もなく、汚染もありません。
石英の外殻はしっかりと密封されているため、フィラメントが酸化するのを防ぎます。また、純度を高く保つことで、温度を変化させてもチューブが割れることがありません。
適切な設定を行う
ベンチのスペースに応じて、出力や電圧を調整できます。高出力のチューブを使えば、より小さく、より集中した加熱領域が得られます。ただし、電源がその瞬間の大電流に耐えられるか確認してください。そうでないと問題が発生します。
私たちは標準的なコネクタを使用しているので、普通はそのまま接続できます。しかし、重要なのは「テフロンコーティングされたケーブルを使用すること」です。絶対に標準的なPVC絶縁体を使わないでください。温まるとすぐに溶けてガスが発生し、クリーンルーム全体が汚染されてしまいます。
実際のトレードオフ
高純度の石英は熱に強いですが、脆いのが欠点です。機械的な衝撃には耐えられません。設置時に少しでも不注意な動きをすれば、チューブが壊れてしまいます。
また、このランプは熱を非常に集中させて放つので、注意しないとベンチの表面が焼けてしまいます。私は常に専用のヒートシンクや反射材を使用することをお勧めします。これにより、エネルギーが部品に集中し、装置のフレームが過熱するのを防げます。