スマートセンサーパッケージ赤外線
もう、温度を推測するのはやめましょう。スマートな赤外線システムを使えば、ファブでの作業が効率的に進みます。
もし近代的なファブを建設しようとしているのであれば、単に「温度を上げる」というだけでは不十分だということがお分かりでしょう。本当の効果は、加熱を単なる作業としてではなく、データ収集の手段とし...
ウェーハレベルパッケージング用ヒーター
再配線工程において、温度は単なるパラメータではなく、実際にはプロセスそのものです。フォトレジストのソフトベイクやエポキシの硬化過程で5℃の温度変動があるだけで、バンプの高さが変わり、オーバーレイに影響を与え、結果として歩留まりが悪くなります。このファンアウト型ウェーハレベルパッケージ用ヒーターは、...