ウェーハが加熱されるのを待つ時間の無駄をやめましょう。 もし今でも熱風を使ってウェーハの処理を行っているなら、それはまるで時間と戦っているようなものです。熱風の場合、チャンバ全体やその中の空気を加熱するのに時間がかかります。ウェーハが何かが起きていることに気づく前に、すでに多くの時間が失われてしま...

半導体製造において炭素排出を削減するためには、何かを加熱するためだけに全体を温めるというやり方をやめなければならない。従来の対流式加熱は無駄が多い。まるで、家の中のすべての部屋を温めて、一枚のピザだけを温めようとするようなものだ。 そこで役立つのが短波赤外線です。空気を温める代わりに、目的の場所に...

ファブの乾燥工程におけるほこりの問題を解決する方法 もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりやガスが発生するだけで、作業した製品は台無しになってしまいます。一般的な加熱素子では、このような状況に対処するのは困難です。それらは剥がれたり、揮発性物質を漏出...