フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ

リソグラフィーの工程では、わかっての通り、わずか半度の温度変動だけでも線幅に影響を与えてしまいます。一方、過度に高温での焼成は、抵抗層を硬くしてしまい、現像剤の作用を妨げることになります。その結果、意図しない形状の欠陥が生じてしまいます。 また、それらの赤外線ランプは単なるヒーターではありません。...