Fabフロアでは、状況はよく分かっているはずです。ソフトベイクで半度のずれが生じると、フォトレジストのプロファイルが変化し、その変化がクリティカルディメンションに影響を与えます。熱的バジェットは厳密に管理されており、ミスの余地はありません。 必須ポイント 当社は高純度クォーツを通した短波長ハロゲン...

ファブフロア上では、300mmウェーハがフォトレジストプロファイルを固定するためのソフトベイクを待っている。ホットスポットが一か所、コールドゾーンが一か所あれば、ライン幅制御は失われる。ラインは停止する。この事態を未然に防ぐために、我々はこの光学式ウェーハ処理用ヒーターを開発した。 技術的に本当に...