赤外線ランプ用アルミニウム反射板

ランプの破損によるウェーハの損傷を防ごう 高負荷な半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる迷惑事以上の問題です。それはまさに悪夢です。 シリコンウェーハの真上で石英管が破裂するとどうなるでしょうか？ランプが壊れるだけでなく、ガラスの破片や金属の破片が製品に降り注ぎます。一度破裂すれば、そ...