省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハが加熱されるのを待つ時間の無駄をやめましょう。 もし今でも熱風を使ってウェーハの処理を行っているなら、それはまるで時間と戦っているようなものです。熱風の場合、チャンバ全体やその中の空気を加熱するのに時間がかかります。ウェーハが何かが起きていることに気づく前に、すでに多くの時間が失われてしま...