安全を確保するために：化学洗浄における金メッキ処理済みのIRランプ
正直に言って、半導体製造施設で可燃性化学物質が入ったタンクの上にIRランプを直接設置するのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や、石英管の故障でも、大惨事につながりかねません。これは非常にリスクの高い環境です。
だからこそ、私たちはリスクを冒しません。金メッキ処理を施し、さらに頑丈な密封処理を行うことで、床面の安全を確保しています。
なぜ金を使うのか？
通常の石英ランプでは、熱があちこちに放出されます。そこで、ランプの表面に薄い金の層を塗ることで、鏡のように機能させます。そうすれば、熱が後方に漏れ出る代わりに、赤外線エネルギーが正しくウェーハに向かって送られます。
実際の利点としては、ランプの本体がずっと冷却されるという点です。周囲の空気に熱が放出されないため、加熱エリアに漏れ込んだ蒸気が偶然にでも発火するリスクが大幅に減少します。これは、ストレスを大幅に軽減するシンプルな解決策です。
安全を徹底するために
ランプを危険な場所にそのまま放置するわけにはいきません。それは問題を招くだけです。
その代わり、ランプを強度の高い石英やサファイア製のケースで覆い、さらに、有害な化学物質に耐えられるようなケースに収めます。また、配線部分には特殊な封止剤を使用します。これにより、腐食性のあるガスが電気接続部に侵入するのを防ぎます。安価な密封材では不十分で、ランプが壊れてしまうことがあります。
注意点
これらは単純に「プラグインすれば使える」というものではありません。注意すべき点がいくつかあります。
金メッキ処理によって熱の放出方法が変わるため、PIDコントローラーの調整が必要です。そうしないと、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、これらのランプは熱を集中して放出するため、排気システムが十分に強力でなければなりません。
私たちは、これらの装置が耐久性を持つように設計しています。電極の溶接部分も丁寧に処理されています。真空が漏れると、ハロゲンサイクルが崩れてランプが壊れてしまいます。
重要なのは、環境を安定させること、そして何よりも、全員の安全を守ることです。