半導体機械部品取引

ファブフロア上では、300mmウェハ上に数千個のダイが配置されています。フォトレジストのベーク中に2℃の温度変動があると、ロット全体が不良になる可能性があります。当社の熱システムは、そのような事態を防ぐために設計されています。 技術的に重要なのは、信頼できる制御です。当社のNIRおよび中波赤外線モ...