オゾンフリー赤外線ランプ

ライン上では300 mmウェーハがベークを待っている。ソフトベークの温度が0.3°Cずれるだけで、CDシフト、オーバーレイスキューが発生し、バッチ全体がリワーク行きとなる。オーブンの設定温度は安定しているように見えても、キャリア上のセンサーは異なる状況を示す—ホットスポット、冷えたエッジ、膜の硬化...