リソグラフィーの工程では、わかっての通り、わずか半度の温度変動だけでも線幅に影響を与えてしまいます。一方、過度に高温での焼成は、抵抗層を硬くしてしまい、現像剤の作用を妨げることになります。その結果、意図しない形状の欠陥が生じてしまいます。
また、それらの赤外線ランプは単なるヒーターではありません。それは純粋にプロセス用のツールなのです。
実際に重要なのは何か 私たちは、短波長の赤外線を利用してランプを設計しています。これにより、抵抗層が迅速かつ効果的に熱を吸収します。その結果、急激な温度上昇が避けられ、ウェーハ全体の温度差は±0.1℃以内に抑えられます。エミッターは安定した電源に接続されており、出力の再現性が保証されます。また、この装置はクラス1～100の清浄室で使用可能で、粒子の発生もありません。5,000時間以上の使用寿命が期待でき、出力の低下も5％未満です。24時間365日稼働しても問題ありません。
なぜこれが重要なのか ソフトバーンでは、接着力が向上し、溶剤が除去されます。ハードバーンでは、エッチングマスクの特性が確保されます。このランプを使えば、各バッチのための適切な温度制御が可能になります。同じ温度プロファイルがウェーハごと、ロットごとに再現されるため、CDの管理や歩留まりの向上が容易になります。
また、ランプが対象物を直接加熱するため、エネルギー消費が削減されます。ランプの交換回数が少なくなるため、プロセスの停止時間も減り、スクラップも少なくなります。
注意すべき点 ランプはチャンバーの形状や石英窓の透過特性に合わせて選ぶ必要があります。そうしないと、反射やホットスポットが原因で均一性が損なわれます。また、コネクタの種類、電圧、冷却方式も装置の仕様に合わせて確認する必要があります。
また、ピロメーターやエミッターの出力を定期的に再校正する必要があります。ランプ自体は正常に機能しますが、システム全体が正しく調整されていない場合は、思った通りに動作しません。