ウェーハの硬化処理を正しく行うためには、反射が鍵となります。
ウェーハを硬化させるには熱が必要です。しかし、単に「熱」があればいいわけではなく、その熱が毎回正確にウェーハの表面に当たる必要があります。
多くの人々は反射板を単なる部品として見ていますが、私はそうは思いません。実際、それは最も重要なツールなのです。もし反射板の設定が適切でなければ、結局は装置の筐体を温めるだけで、製品自体を温めることができず、莫大な時間とエネルギーが無駄になってしまいます。
すべての光線を有効活用する
私たちは「ビューファクター」という概念に注目しています。簡単に言えば、ランプとウェーハが互いに直接向き合っている状態を作り出すのです。
金メッキされた基板や高純度アルミニウムを使用することで、短波長の赤外線の95％以上をウェーハに直接届けることができます。まるでレーザーのようです。
そして最も良い点は、エネルギーの無駄がなくなると、処理速度が上がるということです。ウェーハがすぐに適切な温度に達するため、硬化処理のサイクルが短縮されます。そうなれば、広大なオーブンを使う必要もなくなります。
現代のファクトリーに適応する
スマートファクトリーを運営している場合、信頼できるデータが必要です。
反射板が正常に機能していれば、計算も簡単になります。入力された電力がウェーハの表面で熱に変換されるのです。推測の余地はありません。これにより、PLCの操作も容易になります。
これらの部品は簡単に交換できるように設計されています。しかし、注意点があります。角度が少しでもずれると、ウェーハに「冷え込み部分」ができてしまいます。少しのミスで、大量の不良品ができてしまうかもしれません。
トレードオフ
ただし、問題点もあります。
このように高温にすると、ランプの石英製のケースに負担がかかります。大きなストレスがかかるのです。
冷却ファンをしっかりチェックしましょう。ランプの周囲の熱をうまく排出できるか確認してください。そうしないと、ソケットが早く破損してしまいます。冷却をしっかり行えば、問題ありません。