制御雰囲気焼成ランプ

リソグラフィーの工程において、ベイク処理は単なる一時停止ではなく、プロセス上の重要な段階です。もしソフトベイクの温度が不安定になると、線幅の制御に影響が出ます。また、ハードベイクが均一でない場合、スカムや不純物が発生します。熱的な条件が厳しい場合、ベイク用ランプは日々、ウェーハ全体にわたって微小な...