クラス100のクリーンルームを加熱中でも清潔な状態に保つために クラス100（ISO 5）の環境で作業する場合、ミスの余地は一切ありません。わずかなほこりの粒子やガスの発生だけで、製品全体が台無しになってしまいます。一般的なヒーターでは、このような厳しい条件に対応できません。彼らは剥がれたり、壊れ...

ウェーハの適切な加熱を実現するには（エネルギーの無駄遣いを避けて） クリーンルーム内で、ウェーハの温度が輸送中に下がってしまうと、品質に重大な問題が生じます。そのため、私たちはトロリーヒーターを使用しています。しかし、実際の課題は、どれだけ多くの熱を生成できるかということではありません。重要なのは...