ウエハ上のチップ赤外線ランプ

ファブフロアの現実 フォトレジストのベークはオプションではなく、仕様です。ソフトベークまたはハードベークで1°Cのずれが生じると、CD制御がずれます。一つの粒子の逸脱で、全ロットを廃棄することになります。我々は、先進的な半導体装置が要求する熱特性に合わせて、チップオンウェハ赤外線ランプを設計し、そ...