急速熱処理 RTP ランプ

Fabフロアでは、状況はよく分かっているはずです。ソフトベイクで半度のずれが生じると、フォトレジストのプロファイルが変化し、その変化がクリティカルディメンションに影響を与えます。熱的バジェットは厳密に管理されており、ミスの余地はありません。 必須ポイント 当社は高純度クォーツを通した短波長ハロゲン...