ウェーハ製造ラインの装置

製造現場では、ラインは何も待つことなく動き続けます。ソフトベイクやハードベイクの際に温度がわずかに変動してしまうだけで、ウェーハの寸法が不安定になってしまいます。その結果、ウェーハは廃棄され、リソグラフィーの工程が止まってしまいます。ですから、一日中ほとんど動かないような装置ではなく、常に稼働でき...