光学ウェーハ処理ヒーター

ファブフロア上では、300mmウェーハがフォトレジストプロファイルを固定するためのソフトベイクを待っている。ホットスポットが一か所、コールドゾーンが一か所あれば、ライン幅制御は失われる。ラインは停止する。この事態を未然に防ぐために、我々はこの光学式ウェーハ処理用ヒーターを開発した。 技術的に本当に...