半導体製造工場における炭素排出削減：なぜ赤外線加熱が有効なのか 半導体製造工場で真に炭素中和を実現したいのであれば、エネルギーの無駄遣いをやめなければなりません。 昔ながらの対流式オーブンや抵抗加熱器を考えてみてください。これらは、部屋全体を温めるためのものです。熱があちこちに漏れ出すため、クリー...

悪夢を止める：ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 水素センサーの製造に携わったことがある人なら、その工程がどういうものかよく知っているでしょう。シリコンウェーハを適切な温度にするために、短波長の赤外線ランプが使用されます。これはうまく機能しますが、時には問題が発生します。 大量生産時...

IR加熱と熱風：バイオセンサーを開発するためのより良い方法 バイオセンサーを製造する際、硬化や乾燥といった工程は、多くの場合、非常に面倒な作業です。古い方式では依然として熱風を使っています。確かに機能はしますが、速度が遅すぎます。本当に遅いのです。 熱風を待つという問題点 対流式オーブンの仕組みを...

はじめに 私たちがこの赤外線ハロゲンヒーターを開発したのには、一つの目的があります。それは、カーボンナノチューブの製造における深刻な問題を解決することです。これは、半導体の深加工工程において、温度が安定するまで待つという時間的なロスを解消するために考案されました。 クリーンルームで作業している方々...

製造現場では、ラインは何も待つことなく動き続けます。ソフトベイクやハードベイクの際に温度がわずかに変動してしまうだけで、ウェーハの寸法が不安定になってしまいます。その結果、ウェーハは廃棄され、リソグラフィーの工程が止まってしまいます。ですから、一日中ほとんど動かないような装置ではなく、常に稼働でき...