モリブデン支持型赤外線ランプ

ファブの現場では、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動が起きると、何週間もかけて行ってきた品質向上の努力が水の泡になってしまいます。リソグラフィーにおける温度変動も同様です。ウェーハの乾燥過程での不均一性も問題です。加熱素子は、機械の処理プロセスに合わせて動作しなければなりません。 重...