はじめに 私たちがこの赤外線ハロゲンヒーターを開発したのには、一つの目的があります。それは、カーボンナノチューブの製造における深刻な問題を解決することです。これは、半導体の深加工工程において、温度が安定するまで待つという時間的なロスを解消するために考案されました。 クリーンルームで作業している方々...

はじめに 私たちがこの炭素繊維製の赤外線ランプを開発した理由は、単純です。つまり、熱を必要な場所、つまりウェーハ上に集中させ、周囲の空気に無駄に散逸させないようにするためです。つまり、1ワットの電力も無駄なく有効に活用するのです。 そうすることで、すべてが変わります。温度制御がより精密になり、不要...