安全を確保するために：化学洗浄における金メッキ処理済みのIRランプ 正直に言って、半導体製造施設で可燃性化学物質が入ったタンクの上にIRランプを直接設置するのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や、石英管の故障でも、大惨事につながりかねません。これは非常にリスクの高い環境です。 だからこそ、...

ヒーターの配線が破損しないようにする方法 半導体製造に使われる機器は非常に過酷な環境下で動作します。高い温度で動き、精密な処理を行うため、誤差の余地はありません。そのため、私たちはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。このコーティングは、高温になっても溶けたり、異常なガスを発...

熱電対がウェーハを破壊してしまわないようにしましょう。 半導体ヒーター内の熱電対が故障すると、それは単なる「センサーの問題」というだけではありません。通常は深刻な問題です。 もし絶縁体が破損してしまうと、ウェーハに電流が流れ込んでしまったり、最悪の場合はPIDコントローラーが破壊されてしまったりし...

半導体製造において炭素排出を削減するためには、何かを加熱するためだけに全体を温めるというやり方をやめなければならない。従来の対流式加熱は無駄が多い。まるで、家の中のすべての部屋を温めて、一枚のピザだけを温めようとするようなものだ。 そこで役立つのが短波赤外線です。空気を温める代わりに、目的の場所に...

ウェーハの適切な加熱を実現するには（エネルギーの無駄遣いを避けて） クリーンルーム内で、ウェーハの温度が輸送中に下がってしまうと、品質に重大な問題が生じます。そのため、私たちはトロリーヒーターを使用しています。しかし、実際の課題は、どれだけ多くの熱を生成できるかということではありません。重要なのは...

ファブフロア上では、300mmウェハ上に数千個のダイが配置されています。フォトレジストのベーク中に2℃の温度変動があると、ロット全体が不良になる可能性があります。当社の熱システムは、そのような事態を防ぐために設計されています。 技術的に重要なのは、信頼できる制御です。当社のNIRおよび中波赤外線モ...