真空チャンバー用赤外線ヒーター
なぜ真空赤外線加熱が半導体製造で優れているのか
正直に言って、従来の対流式オーブンはもはや時代遅れになりつつあります。私たちの多くは、そうしたオーブンを使わず、真空チャンバー式の赤外線ヒーターを利用するようになっています。これは単に「無鉛」や省エネの観点からだけではありません。古い方法では効率が悪...
真空対応の赤外線ヒーター
時間の無駄をやめよう:なぜ真空状態での赤外線加熱が有効なのか
半導体の精密加工を行っている人なら、待つという苦痛をよく知っているはずです。
長い間、私たちは強制対流方式に頼ってきました。しかし問題は、真空状態では熱い空気を送り込むことができないという点です。空気がないのです。つまり、何もないのです...