半導体ヒーター用熱電対

熱電対がウェーハを破壊してしまわないようにしましょう。 半導体ヒーター内の熱電対が故障すると、それは単なる「センサーの問題」というだけではありません。通常は深刻な問題です。 もし絶縁体が破損してしまうと、ウェーハに電流が流れ込んでしまったり、最悪の場合はPIDコントローラーが破壊されてしまったりし...