放射熱を利用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水分を取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えてしまうと、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。 そのため、私たちは金メッキされた反射材を使用します。聞こえは良い...

ファブの乾燥工程におけるほこりの問題を解決する方法 もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりやガスが発生するだけで、作業した製品は台無しになってしまいます。一般的な加熱素子では、このような状況に対処するのは困難です。それらは剥がれたり、揮発性物質を漏出...

部屋の中に干したままの湿った洗濯物は、乾くのが遅くなるだけでなく、快適さも損なわれ、安全上の問題を引き起こす可能性もあります。湿気が残っているとカビの臭いが発生し、空気も湿っぽくなります。赤外線式の衣類乾燥ヒーターは、即座に放射熱を与えることで、乾燥を促進し、空間の快適さを保ちます。 重要なのは単...

ファブの現場では、歩留まりは数度やナノメーター単位で決まります。わずか半度の温度変動だけでも、配線の幅に影響を与える可能性があります。また、対流オーブンの空気流によって、粒子が新しいフォトレジスト層上に付着してしまうこともあります。重要なのは、ウェーハをどのように乾燥させるかだけでなく、そのプロセ...

マイクロLEDウェーハが洗浄から取り出された瞬間から、時間との戦いが始まります。残留する水分や熱影響によって、製品の品質が急速に低下してしまいます。フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイクでは、温度を±0.1℃以内に保つ必要があります。そうでなければ、線幅の制御や接着性に問題が生じてしまいま...