半導体クリーンルーム用カートヒーター

ウェーハの適切な加熱を実現するには（エネルギーの無駄遣いを避けて） クリーンルーム内で、ウェーハの温度が輸送中に下がってしまうと、品質に重大な問題が生じます。そのため、私たちはトロリーヒーターを使用しています。しかし、実際の課題は、どれだけ多くの熱を生成できるかということではありません。重要なのは...