반도체 히터용 온도 센서

열전대가 웨이퍼를 망가뜨리게 두지 마세요. 반도체 히터에 내장된 열전대가 고장나면, 그건 단순한 “센서의 문제”가 아닙니다. 보통은 심각한 문제입니다. 만약 절연체가 손상된다면, 전류가 웨이퍼로 유입될 수 있으며, 더 심각한 경우에는 PID 컨트롤러까지 손상될 수 있...