안전을 위한 조치: 화학물질 청소에 사용되는 금 도금 처리된 적외선 램프 솔직히 말해서, 반도체 공장에서 가연성 화학물질이 담긴 탱크 위에 적외선 램프를 직접 설치하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크나 석영관의 고장만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 이...

히터의 전선이 손상되지 않도록 하는 방법 반도체 제조용 도구들은 매우 위험합니다. 이러한 도구들은 고온에서 작동하며, 정밀도가 높아서 오차가 전혀 허용되지 않습니다. 그래서 우리는 테프론(PTFE)으로 코팅된 전선을 사용합니다. 이러한 전선은 고온에 노출되어도 녹거나...

열전대가 웨이퍼를 망가뜨리게 두지 마세요. 반도체 히터에 내장된 열전대가 고장나면, 그건 단순한 “센서의 문제”가 아닙니다. 보통은 심각한 문제입니다. 만약 절연체가 손상된다면, 전류가 웨이퍼로 유입될 수 있으며, 더 심각한 경우에는 PID 컨트롤러까지 손상될 수 있...

단파 적외선을 활용한 공장 내 이산화탄소 감축 반도체 제조 과정에서 진정한 탄소중립을 달성하려면, 특정 부품만을 가열하기 위해 전체를 뜨겁게 만드는 방식을 그만두어야 합니다. 기존의 대류식 가열 방식은 낭비적입니다. 마치 집 안의 모든 방을 데워서 피자 한 조각만을...

와이어의 온도를 적절히 조절하는 방법 (에너지 낭비 없이) 클린룸에서 와이어의 온도가 운반 중에 떨어지면, 생산 효율이 현저히 저하됩니다. 그래서 우리는 트롤리형 히터를 사용합니다. 하지만 진짜 문제는 얼마나 많은 열을 발생시킬 수 있는가가 아니라, 그 열이 실제로...

반도체 제조 현장에서 300mm 웨이퍼는 수천 개의 다이를 포함합니다. 포토레지스트 베이크 과정 중 2°C의 온도 변동은 전체 로트를 손상시킬 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 당사의 열 시스템을 설계하였습니다. 기술적으로 중요한 것은 신뢰할 수 있는 제어입니다. 당...