웨이퍼 제조 라인 장비

생산 라인에서는 어떤 것도 기다릴 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 약간의 온도 변동만 있어도, 웨이퍼의 치수가 변질될 수 있습니다. 그러면 웨이퍼는 폐기되고, 리소그래피 공정도 중단됩니다. 따라서 하루 종일 아무 일도 하지 않는 장비가 아니라,...