수소 센서 제작용 히터

악몽을 막는 방법: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 수소 센서 제작에 종사해본 사람이라면 잘 알고 있을 것입니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 높이기 위해 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이 방법은 잘 작동하지만, 문제가 생기면 상황이 위험해집니다. 고...