몰리브덴 소재의 적외선 램프

제조 현장에서는, 포토레지스트를 부드럽게 건조시키는 과정에서 2°C라는 작은 온도 변화만으로도 수주간에 걸쳐 이루어진 작업 성과가 사라질 수 있습니다. 리소그래피 공정에서의 온도 변동도 마찬가지입니다. 웨이퍼 건조 과정에서의 불균일성도 문제가 됩니다. 따라서 가열 요...