제조 현장에서는, 포토레지스트를 부드럽게 건조시키는 과정에서 2°C라는 작은 온도 변화만으로도 수주간에 걸쳐 이루어진 작업 성과가 사라질 수 있습니다. 리소그래피 공정에서의 온도 변동도 마찬가지입니다. 웨이퍼 건조 과정에서의 불균일성도 문제가 됩니다. 따라서 가열 요소는 반드시 기계의 공정 요구사항을 충족시켜야 합니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 높은 발광 효율을 가진 필라멘트와 안정적인 구조의 반사체를 활용하여 몰리브덴으로 만든 인파란색 램프를 개발했습니다. 그 결과, 웨이퍼 전체에 걸쳐 매우 정밀한 온도 제어가 가능해집니다. 일반적으로 고온 영역에서는 ±0.1°C의 오차 범위 내에서 온도를 유지할 수 있습니다. 몰리브덴 구조는 반복적인 열 순환에도 형태를 유지하며, 램프의 외부 구조는 클래스 1부터 클래스 100까지의 청정실 환경에 적합합니다. 램프의 출력은 안정적으로 유지되며, 5,000시간 이상 사용해도 강도 변화는 5% 미만입니다.
왜 이 램프가 적합한가? 이 램프는 웨이퍼 건조, 포토레지스트의 부드러운 건조 및 단단한 건조, 패키징 과정, 그리고 세척 후 건조와 같은 실제 공정에 적합하게 설계되었습니다. 높은 균일성 덕분에 선의 굵기가 일정하게 유지되고, 용매의 잔류도 줄어들어 CD 제어에 도움이 되며, 재작업도 줄어듭니다. 빠르고 정밀한 온도 상승으로 인해 건조 시간이 단축되며, 열 관리도 원활하게 이루어집니다. 깨끗하고 입자가 없는 가열 방식 덕분에, 오염으로 인한 문제도 줄어듭니다.
설치 시 주의사항 공차가 매우 엄격하기 때문에, 램프의 외부 구조가 챔버의 포트와 정확히 맞는지 확인해야 합니다. 또한, OEM 장치와의 연결부도 정확히 맞는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 과열이 발생할 수 있습니다. 램프는 높은 전력 밀도로 작동하기 때문에, 전력 공급 장치가 충분한 성능을 갖추고 있으며, 공기 흐름도 원활해야 합니다. 그래야 필라멘트의 온도가 안정적으로 유지됩니다. 출력이 안정되기까지는 약간의 시간이 걸리므로, 그 시간을 고려하여 공정을 계획해야 합니다.