클린룸 장비 업그레이드 공장
왜 적외선 경화가 무연 건조에 최적의 방법인가?
클린룸 장비를 업그레이드할 때 “무연”이나 “환경친화적”이라는 기준을 충족시켜야 한다고 생각하기 쉽습니다. 하지만 실제로는 그보다 더 중요한 문제가 있습니다. 바로 유해한 VOC들을 줄이고, 건조 과정에서 소모되는 에너...
웨이퍼 제조 라인 장비
생산 라인에서는 어떤 것도 기다릴 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 약간의 온도 변동만 있어도, 웨이퍼의 치수가 변질될 수 있습니다. 그러면 웨이퍼는 폐기되고, 리소그래피 공정도 중단됩니다. 따라서 하루 종일 아무 일도 하지 않는 장비가 아니라,...