방사열을 이용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 신중한 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 과도한 열을 가하면 그 미세한 구조들이 손상될 수 있습니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된...

반도체 공장의 효율적인 관리: 왜 적외선 가열이 효과적인가? 솔직히 말해, 반도체 공장에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 조금만 실수해도 엄청난 양의 폐기물이 발생하게 됩니다. 오랫동안 우리는 기존의 저항식 히터를 사용해왔습니다. 물론 이 방식도 효과는 있지만, 다소...

웨이퍼가 가열되기를 기다리며 시간을 낭비하는 것은 그만두세요. 만약 여전히 핫에어를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 사실상 시간과 싸우는 것과 같습니다. 핫에어는 속도가 매우 느립니다. 웨이퍼가 무언가 변화가 있다는 것을 알아차리기 전에, 우선 챔버 전체와 그 안...

열 제어가 제대로 이루어지지 않으면, 생산 공정에서의 수율이 저하됩니다. 깨끗하게 세척해도 미세한 물방울들이 남아 있으며, 이러한 미세한 물방울들은 결함을 유발하는 원인이 됩니다. 포토레지스트를 건조할 때는 디스플레이에 표시된 목표 온도를 확인할 수 있지만, 전체 배...

팹 플로어에서의 포토레지스트 베이킹 포토레지스트 베이킹은 선택 사항이 아닙니다. 이는 규격입니다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 1°C의 편차가 발생하면 CD 제어가 드리프트됩니다. 하나의 입자 이동으로 인해 전체 배치를 폐기할 수 있습니다. 우리는 이러한 변동...

공정 현장에서는 300mm 웨이퍼가 포토레지스트 프로파일을 고정하기 위한 소프트 베이크를 기다리고 있다. 한 곳이 과열되고 한 곳이 냉각되면 라인 폭 제어가 무너진다. 그 결과 라인이 멈춘다. 우리는 이러한 상황이 처음부터 발생하지 않도록 광학 웨이퍼 처리용 히터를...