근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기

열 제어가 제대로 이루어지지 않으면, 생산 공정에서의 수율이 저하됩니다. 깨끗하게 세척해도 미세한 물방울들이 남아 있으며, 이러한 미세한 물방울들은 결함을 유발하는 원인이 됩니다. 포토레지스트를 건조할 때는 디스플레이에 표시된 목표 온도를 확인할 수 있지만, 전체 배...