선형 적외선 가열 송신기

팹에서는 베이킹 온도가 0.1°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이러한 변화로 인해 웨이퍼가 폐기되거나, 포토레지스트의 효과가 감소하며, 생산 효율도 떨어집니다. 기술적으로 중요한 점은? 우리는 반도체의 열적 특성을 고려하여 선형 적외선 가열 장치를...