에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

웨이퍼가 가열되기를 기다리며 시간을 낭비하는 것은 그만두세요. 만약 여전히 핫에어를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 사실상 시간과 싸우는 것과 같습니다. 핫에어는 속도가 매우 느립니다. 웨이퍼가 무언가 변화가 있다는 것을 알아차리기 전에, 우선 챔버 전체와 그 안...