안전을 위한 조치: 화학물질 청소에 사용되는 금 도금 처리된 적외선 램프
솔직히 말해서, 반도체 공장에서 가연성 화학물질이 담긴 탱크 위에 적외선 램프를 직접 설치하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크나 석영관의 고장만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 이는 매우 위험한 환경입니다.
그래서 우리는 위험을 감수하지 않습니다. 금 도금 처리와 견고한 밀봉 기술을 결합하여 바닥이 안전하도록 합니다.
왜 금인가요?
일반적인 석영 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 우리는 램프 외부에 얇은 금층을 코팅하여 거울과 같은 역할을 하게 합니다. 그렇게 하면 열이 뒤쪽으로 퍼지는 것을 막고, 적외선 에너지가 웨이퍼에 집중됩니다.
또 한 가지 장점은 램프의 온도가 훨씬 낮아진다는 것입니다. 열이 주변 공기로 퍼지지 않으므로, 가열 구역으로 유입된 가스가 폭발할 위험이 크게 줄어듭니다. 이는 간단한 해결책이지만 큰 도움이 됩니다.
안전을 위한 추가 조치
램프를 그냥 위험한 곳에 두는 것은 절대 안 됩니다. 그렇게 하면 문제가 생길 수 있습니다.
대신, 램프를 고강도 석영이나 사파이어로 만들어진 커버로 감싼 다음, 화학물질에 견딜 수 있는 케이스에 넣습니다. 또한, 전선에도 특수한 접착제를 사용하여 부식성 가스가 전기 연결부로 들어가는 것을 막습니다. 이렇게 하면 저품질의 밀봉재로 인해 램프가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
주의해야 할 점들
이 제품들은 그냥 “플러그 앤 플레이” 형태로 사용할 수 있는 것이 아닙니다. 몇 가지 주의해야 할 점들이 있습니다.
금 도금 처리로 인해 열이 발산되는 방식이 변하기 때문에, PID 컨트롤러를 조정해야 합니다. 그렇지 않으면 목표 온도를 초과할 수 있습니다. 또한, 이 램프들은 열을 매우 강하게 방출하므로, 배기 시스템이 충분히 강력하여 그 열을 제거할 수 있어야 합니다.
우리는 이러한 제품들이 견고하도록 설계합니다. 전극의 용접 상태에도 많은 신경을 쓰는데, 왜냐하면 진공 상태가 깨지면 할로겐 순환이 멈추고 램프가 파손될 수 있기 때문입니다.
모든 것은 환경을 안정적으로 유지하고, 무엇보다도 모든 사람의 안전을 보장하는 데 있습니다.