웨이퍼가 가열되기를 기다리며 시간을 낭비하는 것은 그만두세요. 만약 여전히 핫에어를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 사실상 시간과 싸우는 것과 같습니다. 핫에어는 속도가 매우 느립니다. 웨이퍼가 무언가 변화가 있다는 것을 알아차리기 전에, 우선 챔버 전체와 그 안...

단파 적외선을 활용한 공장 내 이산화탄소 감축 반도체 제조 과정에서 진정한 탄소중립을 달성하려면, 특정 부품만을 가열하기 위해 전체를 뜨겁게 만드는 방식을 그만두어야 합니다. 기존의 대류식 가열 방식은 낭비적입니다. 마치 집 안의 모든 방을 데워서 피자 한 조각만을...

제조 공정에서 먼지를 막는 방법 만약 100등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 아주 작은 먼지 입자나 가스도 전체 제품을 망칠 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에서는 전혀 쓸모가 없습니다. 그런 요소들은 부서지거나 표면에서...