클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 (온도를 높일 때도 마찬가지입니다)
클래스 100 환경에서 작업할 때는 단 한 점의 먼지도 허용될 수 없습니다. 아주 작은 먼지 조각이라도 있거나, 히터에서 나오는 가스가 있으면 웨이퍼나 광학 부품들이 망가집니다. 정말 끔찍한 상황이죠.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 “거의 깨끗한” 수준으로는 부족한, 정밀한 작업에 적합하도록 특별히 제작된 것입니다.
석영이 중요한 이유
우리는 OH- 함량이 높은 융제된 실리카 석영을 사용합니다. 간단히 말해, 이 재료는 엄청난 열에 노출되어도 분해되거나 미세한 입자를 내뿜지 않습니다.
또한 이 적외선 램프는 복사열을 이용해 열을 전달하기 때문에, 강제로 공기가 풍겨와 먼지가 작업물 위로 날아가는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 팬도, 바람도, 오염도 없습니다.
석영 외부 커버는 필라멘트가 산화되는 것을 막기 위해 단단히 밀봉되어 있습니다. 순도를 높게 유지함으로써, 온도가 오르내릴 때에도 램프가 손상되지 않도록 합니다.
적절한 설정 방법
작업대의 공간에 따라 와트수와 전압을 조절할 수 있습니다. 고와트 수치의 램프를 사용하면 더 작고 집중된 가열 영역을 얻을 수 있습니다. 하지만 주의해야 할 점은, 전원 공급 장치가 초기 충전 시 발생하는 큰 전류를 감당할 수 있는지 확인해야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 문제가 생길 수 있습니다.
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 보통 그냥 연결해서 사용하면 됩니다. 하지만 한 가지 중요한 점은 테플론 코팅된 전선을 사용해야 한다는 것입니다. 표준 PVC 절연체를 사용하면 열이 가해지자마자 녹아내려 먼지가 생기고, 결국 클린룸 전체가 오염될 수 있습니다.
현실적인 타협점들
높은 순도의 석영은 열에 강하지만, 반면에 약합니다. 기계적인 충격에는 견딜 수 없습니다. 설치할 때 조금만 부주의해도 램프가 손상될 수 있습니다.
또한 이 램프들은 열을 매우 집중된 형태로 방출합니다. 주의하지 않으면 작업대 표면이 손상될 수 있습니다. 그래서 저는 항상 전용 히트 싱크나 반사재를 사용하라고 권장합니다. 이렇게 하면 에너지가 부품 쪽으로 집중되고, 장비의 과열을 방지할 수 있습니다.