放射熱を利用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水分を取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えてしまうと、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。 そのため、私たちは金メッキされた反射材を使用します。聞こえは良い...

半導体製造工場の改善：なぜ赤外線加熱が効果的か 半導体製造工場について正直に言えば、私たちは熱管理に非常にこだわっています。わずかなミスで、高価な廃棄物が大量に発生してしまうからです。長年にわたり、私たちは従来の抵抗加熱器を使ってきました。確かに機能はしますが、使い勝手が悪いのです。 赤外線ランプ...

もう、温度を推測するのはやめましょう。スマートな赤外線システムを使えば、ファブでの作業が効率的に進みます。 もし近代的なファブを建設しようとしているのであれば、単に「温度を上げる」というだけでは不十分だということがお分かりでしょう。本当の効果は、加熱を単なる作業としてではなく、データ収集の手段とし...

悪夢を止める：ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 水素センサーの製造に携わったことがある人なら、その工程がどういうものかよく知っているでしょう。シリコンウェーハを適切な温度にするために、短波長の赤外線ランプが使用されます。これはうまく機能しますが、時には問題が発生します。 大量生産時...