UHP 超高純度 ヒーターランプ

ファブ内の加熱システムを最適化するには ウェーハ処理やCVDプロセスを行っている場合、加熱ランプがそのプロセスの核心であることはご存知でしょう。しかし、現代のファブでは、「単純な」加熱素子では不十分です。実際にデジタル制御装置と連携して動作する加熱源が必要です。リアルタイムで温度分布を把握し、推測...