Sicherstellen von Sicherheit: Goldbeschichtete IR-Lampen bei der chemischen Reinigung Seien wir ehrlich: Die Verwendung von IR-Lampen direkt über...

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 tatsächlich sauber hält – auch bei erhöhter Temperatur Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, kann...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum Goldbeschichtete IR-Lampen tatsächlich funktionieren In den Waferfabriken muss man ständig mit den...

Das Hindernis beseitigen: Infrarotstrahlung gegenüber Heißluft zur Trocknung von Wafern Wer schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat,...

Verhindern Sie, dass durch defekte Leuchten Ihre Siliziumwafer zerstört werden In einer hochbelasteten Halbleiteranlage ist ein defekter Lichtstrahl...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Behandlung von Halbleiterwafern Wenn Sie versuchen, eine kohlenstoffneutrale Fabrik...

Infrarot-Heizung gegen Heiße Luft: Eine bessere Methode zur Herstellung von Biosensoren Bei der Herstellung von Biosensoren sind das Aushärten und...

Wie man die Heizung in der Fertigungseinrichtung optimal einstellt Wenn Sie mit Wafern verarbeiten oder CVD-Verfahren anwenden, wissen Sie bereits,...

Einführung Wir haben diese Infrarotlampe aus Kohlenstofffasern aus einem einfachen Grund entwickelt: Die Wärme soll genau dort entstehen, wo sie...

Auf der Lithografieebene ist die Trocknungsphase keine einfache Pause – sie stellt vielmehr eine entscheidende Grenze im Prozess dar. Wenn die...

Im Bereich der Lithografie ist das so: Schon eine leichte Temperaturänderung von halb einem Grad kann dazu führen, dass die Linienbreiten falsch...

In der Fertigungshalle – wissen Sie, wie schnell eine Abweichung von 2 °C während des weichen Befeuerungsprozesses des Fotolacks dazu führen kann,...

Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: Eine Drift von einem halben Grad beim Softbake verändert das Photoresist-Profil, und diese...

Auf der Fertigungsfläche Das Backen des Fotolacks ist keine Option – es ist die Spezifikation. Eine Abweichung um 1 °C beim Soft-Bake oder Hard-Bake...

Auf der Linie liegt der 300 mm Wafer und wartet auf das Backen. Driftet ein Softbake um 0,3°C, sieht man CD-Verschiebungen, Overlay-Schrägstellungen...