Verhindern Sie, dass durch defekte Leuchten Ihre Siliziumwafer zerstört werden
In einer hochbelasteten Halbleiteranlage ist ein defekter Lichtstrahl mehr als nur ein Ärgernis – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Stellen Sie sich vor, eine Quarztube platzt direkt über einem Siliziumwafer. Dann haben Sie nicht nur mit einer defekten Lampe zu tun, sondern auch mit Glassplittern und metallischen Trümmern, die auf den Wafer fallen. Ein solcher Vorfall bedeutet, dass die gesamte Charge unwiederbringlich zerstört wird. Das ist katastrophal.
Deshalb konstruieren wir unsere Infrarotlampen so, dass zwischen der Wärmequelle und den Wafern eine echte „Mauer“ entsteht.
Warum der Aluminiumreflektor wichtig ist
Wir verwenden Reflektoren aus hochreinem Aluminium aus zwei Gründen. Erstens lenken sie die Infrarotenergie genau dorthin, wo sie benötigt wird. Doch noch wichtiger ist, dass sie als physischer Schutz fungieren. Wir haben die Geometrie der Reflektoren so angepasst, dass die Wärme optimal reflektiert wird – gleichzeitig wird ein stabiler Halt für die Lampe geschaffen. Falls eine Tube unter hohem thermischem Stress versagt, hilft der Gehäusebau daran, dass die Splitter nicht überallhin fliegen. Es geht also um Kontrolle.
Sauberkeit und Stabilität gewährleisten
Stabilität ist alles. Wenn eine Lampe während eines Hochlastzyklus vibriert, entsteht Reibung zwischen dem Quarz und dem Metall. Das führt zu kleinen Rissen, die wiederum zu frühzeitigen Defekten führen. Wir lösen dieses Problem mit gedämpften Halterungen – so gibt es keine Reibung und kein Vibrieren.
Für diejenigen, die es sich wirklich nicht leisten können, Fehler zu machen, empfehlen wir in der Regel einen zusätzlichen Quarzschutzrohr. Man kann das als Art „Versicherung“ betrachten. Wenn die Infrarotlampe ausfällt, fängt das Schutzrohr die Schäden auf. So bleibt der Wafer unbeschädigt.
Der Kompromiss – und wie damit umgegangen wird
Ehrlich gesagt: Durch die Verwendung von Reflektoren und Schutzrohren erhöht sich die thermische Masse der Anlage. Dadurch entsteht eine leichte Verzögerung beim Erreichen der gewünschten Temperatur im Vergleich zur Verwendung einer normalen Lampe. Es dauert etwas länger, bis die richtige Temperatur erreicht ist. Sie müssen wahrscheinlich die Einstellungen Ihres PID-Reglers anpassen, um die richtige Zeit einzustellen.
Aber ehrlich gesagt: Ein paar zusätzliche Sekunden sind ein geringer Preis, um eine ganze Charge an Wafern zu retten. Diese Anlagen sind dafür konzipiert, 24/7 zu arbeiten. Bitte überprüfen Sie bei der Installation, ob Ihre Kühlfans die spezifische Leistung der Lampen bewältigen können. Wenn das nicht der Fall ist, wird das Aluminiumgehäuse im Laufe der Zeit verbogen – und dann sind Sie wieder am Anfang.