Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Behandlung von Halbleiterwafern
Wenn Sie versuchen, eine kohlenstoffneutrale Fabrik zu betreiben, haben Sie wohl bereits festgestellt, dass das Erhitzen der Luft um Ihre Geräte herum eine pure Verschwendung von Geld ist. Man möchte schließlich nicht, dass der Raum heiß wird – man möchte vielmehr, dass das Substrat heiß wird.
Dafür sind unsere mit Gold überzogenen Doppelröhrenlampen genau das Richtige. Sie sind so konzipiert, dass die Energie genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird.
Warum Gold eigentlich wichtig ist
Die meisten Standardquarzröhren sind undicht. Die Energie entweicht einfach in alle Richtungen.
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine Goldschicht auf die Innenseite der Röhre auftragen. Stellen Sie sich das wie einen Hochleistungsspiegel vor: Er fängt die Infrarotstrahlung ein und leitet sie in einem konzentrierten Strahl weiter.
Das Ergebnis? Man kann den Gesamtenergieverbrauch senken, während gleichzeitig die gewünschten Temperaturen auf den Wafern erreicht werden. Das ist also ein Gewinn für beide Seiten.
Mehr Leistung, weniger Belastung
Der „Doppelröhren“-Aspekt ist ganz einfach: Wir haben die Hebefläche verdoppelt, ohne dabei mehr Platz zu benötigen. Dadurch können wir mehr Leistung erzielen, ohne dass der Quarz seine Belastungsgrenze erreicht. Zudem verteilt sich die Wärme gleichmäßiger. Keine Sorge mehr wegen irgendwelcher heißen Stellen, die ganze Chargen von Wafern zerstören könnten.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
In der Regel kann man diese Lampen problemlos in die vorhandenen IR-Anlagen einsetzen. Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, den Energieverbrauch zu senken.
Aber hier ist der Haken: Gold ist anspruchsvoll. Diese Lampen vertragen keine Verunreinigungen. Wenn die Abdichtung in der Reinraumumgebung versagt oder chemische Substanzen auf die Beschichtung gelangen, sinkt die Reflexionsfähigkeit. Sobald das passiert, sinkt die Effizienz der Lampen stark ab. Man muss die Lampenoberflächen stets sauber halten, damit die Heizleistung konstant bleibt.
Fazit
Wir nutzen diese Systeme, um die Startzeiten zu verkürzen. Wenn die Heizezyklen schneller ablaufen, verbringen die Maschinen weniger Zeit im Stillstand.
Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, die „grünen“ Ziele zu erreichen, ohne die gesamte Produktionslinie komplett umbauen zu müssen.