Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: Eine Drift von einem halben Grad beim Softbake verändert das Photoresist-Profil, und diese...

Auf dem Fertigungsboden liegt eine 300mm Wafer und wartet auf das Softbake, um das Photoresist-Profil zu fixieren. Ein Hotspot, eine kalte Zone und...