Im Bereich der Lithografie ist das so: Schon eine leichte Temperaturänderung von halb einem Grad kann dazu führen, dass die Linienbreiten falsch werden. Eine zu hohe Temperatur wiederum führt dazu, dass der Resist so stark erhitzt wird, dass er dem Entwicklerwirkstoff Widerstand entgegensetzt – mit dem Ergebnis, dass unerwünschte Effekte auftreten.
Und diese Infrarotlampen? Sie sind nicht einfach nur Heizgeräte. Es handelt sich dabei um echte Prozesswerkzeuge.
Was wirklich wichtig ist Wir bauen die Lampen so, dass sie kurzwelliges Infrarot ausstrahlen. Dadurch wird der Resist schnell und gleichmäßig erhitzt. Das bedeutet eine schnelle Temperaturerhöhung, minimale thermische Verzögerungen sowie eine Homogenität auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C. Der Emittent befindet sich auf einer stabilisierten Stromversorgung, damit die Leistung konstant bleibt. Die Anlage ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet, wobei keine Partikel entstehen. Man kann mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden rechnen, wobei der Leistungsverlust unter 5% liegt. Die Anlage kann somit 24/7 ohne Unterbrechungen betrieben werden.
Warum das im Produktionsprozess wichtig ist Eine sanfte Erhitzung sorgt dafür, dass der Resist richtig haftet und dass Lösungsmittel entfernt werden. Eine starke Erhitzung hingegen sorgt für die Integrität des Ätzmaskens. Mit dieser Lampe kann man die Temperaturen für jede Charge genau steuern. Das gleiche Temperaturprofil gilt für jedes Wafer und jede Chargengruppe – dadurch wird die Kontrolle über die Fehlerquote einfacher.
Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe nur das Zielobjekt erwärmt und nicht den Rahmen darum herum. Weniger Austausch der Lampen bedeutet weniger Prozessunterbrechungen und weniger Ausschuss.
Worauf man achten muss Die Lampe muss zur Geometrie des Behälters sowie zur Transmissionskurve des Quarzfensters passen. Andernfalls können Reflexionen und Hotspots die Homogenität ruinieren. Überprüfen Sie außerdem den Anschlusstyp, die Spannung sowie den Kühlweg in Bezug auf Ihre Ausrüstung.
Planen Sie außerdem regelmäßige Kalibrierungen des Pyrometers sowie der Leistung der Lampe ein. Die Lampe wird ihre Funktion erfüllen – aber nur dann, wenn der Rest des Systems richtig eingestellt ist.