Sicherstellen von Sicherheit: Goldbeschichtete IR-Lampen bei der chemischen Reinigung
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von IR-Lampen direkt über Behältern mit brennbaren Chemikalien in einer Halbleiterfabrik ist eine äußerst riskante Angelegenheit. Schon ein kleiner Funke oder ein defekter Quarzkern kann zu einer Katastrophe führen. Es handelt sich dabei um eine hochriskante Umgebung.
Deshalb gehen wir kein Risiko ein. Wir kombinieren die Goldbeschichtung mit einer besonders widerstandsfähigen Abdichtung, damit der Boden sicher bleibt.
Warum Gold?
Standard-Quarzlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Wir fügen daher eine dünne Goldschicht zur Abdeckung der Lampe hinzu – diese fungiert wie ein Spiegel. Anstatt die Wärme nach hinten abzugeben, leitet sie die Infrarotenergie nach vorne, dorthin, wo sie hingehört – auf die Wafer.
Der Vorteil ist, dass die Lamenhülle viel kühler bleibt. Wenn keine Wärme in die umgebende Luft abgegeben wird, sinkt das Risiko, dass versehentlich Gase entzündet werden, erheblich. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung, die viel Stress vermeidet.
Sichere Lagerung
Wir können die Lampe nicht einfach in einer explosionsgefährlichen Zone liegen lassen. Das wäre zu riskant. Stattdessen wickeln wir die Lampe in einen hochfesten Quarz- oder Saphirbehälter ein. Zudem verwenden wir spezielle Dichtstoffe an den Anschlusskabeln. Dadurch können korrosive Gase nicht in die elektrischen Kontakte eindringen – dort versagen nämlich oft billige Dichtungen und die Lampe geht kaputt.
Achtungspunkte
Es handelt sich dabei nicht um „Plug-and-Play“-Lösungen. Es gibt einige Dinge, auf die man achten muss. Da die Goldbeschichtung die Wärmeabstrahlung verändert, muss man die PID-Steuerung anpassen. Andernfalls könnte die gewünschte Temperatur überschritten werden. Zudem konzentrieren diese Lampen die Wärme sehr stark – daher muss das Abzugssystem ausreichend stark sein, um die entstehenden Gase abzuführen.
Wir bauen diese Geräte so, dass sie auch unter schwierigen Bedingungen funktionieren. Wir legen großen Wert auf die Integrität der Elektroden – denn wenn es zu einem Vakuumverlust kommt, bricht der Halogenzyklus ab und die Lampe geht kaputt.
Es geht darum, die Umgebung stabil zu halten – und vor allem alle Menschen sicher zu halten.