Wie man die Heizung in der Fertigungseinrichtung optimal einstellt
Wenn Sie mit Wafern verarbeiten oder CVD-Verfahren anwenden, wissen Sie bereits, dass die Heizlampen das Herzstück des gesamten Prozesses sind. Doch in einer modernen Fertigungseinrichtung kann man es sich nicht leisten, „unzureichende“ Heizelemente zu verwenden. Man braucht Heizquellen, die tatsächlich mit den digitalen Steuerungen kommunizieren können. Man muss in Echtzeit sehen können, was mit der Wärmeverteilung passiert – anstatt nur zu raten.
Die Details bezüglich der UHP-Heizlampen
Bei der Herstellung dieser Lampen ist das Ziel einfach: Die Wärme genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – ohne dass überschüssige Wärme auf dem Substrat bleibt. Deshalb verwenden wir hochwertigen synthetischen Quarz. Dieser verhindert das Austreten von Gasen aus dem Material. In einem Reinraum ist das eine grundlegende Voraussetzung. Wenn Sie mit 300-mm-Wafern arbeiten, möchten Sie vermutlich eine hohe Leistungsdichte erreichen. Wir verwenden kurzwelliges Infrarotlicht, denn dieses dringt schnell durch das Material hindurch. Dadurch verkürzt sich die Zeit bis zum Betriebsbeginn – was wiederum dazu beiträgt, dass alles reibungslos abläuft.
Hören Sie auf zu raten – beginnen Sie mit der Überwachung
„Industrie 4.0“ ist ein anspruchsvoller Begriff – für uns bedeutet er einfach nur, Daten zu nutzen, um die Arbeit zu erleichtern. Wir schalten diese Heizlampen in PLC-steuerte Systeme ein, sodass man die Spannung und den Stromverbrauch überwachen kann. Das ist wirklich hilfreich. Anstatt die Lampen nach einem festgelegten Zeitplan auszutauschen – was meist Zeitverschwendung oder Risiko birgt – kann man erkennen, wann eine Lampe wirklich versagt. So kann man die Lampen rechtzeitig austauschen. Prädiktiver Austausch. Zudem kann man die Wärmeverteilung auf dem Wafer in Echtzeit überwachen. Dadurch gibt es weniger Ausschuss und weniger Probleme.
Die Kompromisse, die man kennen sollte
Seien wir ehrlich: Hochleistungs-UHP-Lampen erzeugen viel Wärme – doch sie brauchen auch viel Energie. Überprüfen Sie Ihre Verkabelung. Stellen Sie sicher, dass Ihre Anschlüsse die höchsten Ströme bewältigen können – sonst kommt es zu Spannungsabfällen, die die Ergebnisse beeinträchtigen. Vergessen Sie auch nicht die Kühlung. Wenn Ihr System die Umgebungswärme nicht bewältigen kann, wird die Prozesstemperatur anfangen, zu schwanken. Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie als Ersatz für die vorhandenen Geräte dienen können. Stellen Sie einfach sicher, dass die Wellenlänge passt und die Reinheit des Quarzes ausreicht. Wenn diese beiden Aspekte richtig liegen, kümmert sich die digitale Steuerung um den Rest.